AU-M3-LS系列位移平臺,是一款集動力系統(tǒng)、位置傳感器和控制器于一身的微型位移平臺。其中動力系統(tǒng)采用目前很小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機(2.8 x 2.8 x 6 mm)和業(yè)界內(nèi)很小的壓電馬達NSD-2101驅(qū)動IC(1.8 x 1.8 mm)。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運動性能。
超小型平移臺(亞微米,15mm,已集成電路)
Minus K 桌面型隔震平臺
Minus K“負(fù)剛度”技術(shù)提供了一種簡單、可靠、高效的振動隔離解決方案,適用于對低頻振動較為靈敏的儀器,例如建筑物和樓層振動、光學(xué)平臺晃動帶來的低頻振動,使用Minus K隔震平臺,可使其降至傳統(tǒng)隔離設(shè)備如氣墊隔振所未能達到的水平